热式气体流量计应用概况
    热式流量仪表除了本章主要讨论输出连续量的TMF外.还有另一分支—热式沈最开
关。流盆开关也有称作流动特续器(flow relay)。它主要在流魔超过上限(或下限)时，发
出两位控制信号，有些流健开关的流虽上、下限值还可由用户自行设定。流t开关主要用于
空阴、通风、水/风冷却、润份油等系统的保护监控。
    当前TMF主要应用于侧址气体.只有很小部分应用于侧址徽小液体流盆。
    1.热分布式气休TMF
    本类仪表适用于洲盈小流最徽小口径的清沾气体，应用于精细制造工艺和徽小流量采样
控制等。
    (1)半导休工业应用半导体工业曾是TMF主要服务对象。TMF是应承半等体业需
求的推动而得到盖勃发展，应用于扩徽、软化、外延、等离子刻蚀、派射等工艺设备中，侧
址和控侧超净气体或腐蚀/有害气体流胜.如级、氛、氛化氮、三奴化旅、暇化扳、砷化三
氮、礴化氢等。1995年世界范圈内半导业仍脚里了三千余万奖元的TMF,约占热式流健仪
表市场的1/3.
量所用的配套用流量仪表，其应用非常普迫。
原常用浮子流里计，现在凡要求较高者渐被气体TMF所代替.
    (3)机械构件密封性侧试和尺寸精密侧且例如测I阔门等机械构件气密性指标中的气
体泄肠量，侧量小孔尺寸和过滤材料透气性侧试等。
    “)化工、石油等流程工业微型试验装且中微小气体流量的侧量和控别
    (5)其他应用光导纤维制造.电厂氢冷发电机氢气补给盆侧量;姗烧喷嘴天然气流最
侧里与控制，热处理炉保护气或渗碳气充气量，医学保健软气或麻醉荆气涟量控翻等。

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