在过程检测和控制中，理想的是用质量流量表示物质的量。质量流量与流体的物理性质如温度、压力、雷诺数、黏度和密度无关，便于统一规定和管理。在化工生产过程中，各种原料和生成品儿乎都用质量度量；流体产品贸易和经济核算大部分用质量计量。但流体的质量流量不易检测。

    20世纪60年代出现一种量热式质量流量计(thermal mass flowmeter，简称TMF)，亦称热分布式质量流量计，它是基于流体通过一段被加热的管道(其两端温度相同)时，管壁的温度分布发生变化，后半段管壁的平均温度与前半段管壁平均温度的差，与管内流体的质量流量成正比。70年代初出现另一种TMF，它是荃于流体通过一段温度比流体温度高△T(℃)的热丝时，流体的流体质量流量与流体从热丝带走的热功率之间存在一个单值的递增关系。基于这个关系式，只需测知维持热丝比流体高△T向热丝提供的电功率即可测知流体的质量流量。这种TMF可称为热功耗式质量流量计。

    热分布式用于测量小流量的气体或液体。测量气体时，这种仪表的满量程按折合到空气标准状态计为10ml/min~1000L/min。热功耗式可测气体的满量程大，特别是将探头直接插入工艺管道的这种TMF，可测气体的流速折合到空气标准状态为0.75~75m/s(可扩展到150m/s)。

    另一种可测液体及高压气体的质量流量计，称为科里奥利力式质量流量计(corilis massflowmeter，简称CMF)，出现于20世纪70年代末。它是基于流体流经两端固定在一刚体上有微小振动的管道时，管道各点振动的相位发生变化。选择相位向相反方向变化的两点，其相位差与质量流量成正比。检测其相位差即测得通过管内的质量流量。这类ABG的满量程为27~68000kg/h。

本文来自：蒸汽流量计  http://www.abg.cc/Products/liuliangyibiao/2011/0826/703.html