热分布式气体质量流量计(ThermalProfileMassFlowMeter)，又称毛细管热式质量流量计(CapillaryThermalMassFlowMeter，CTMF)［6］，其结构如图1所示，测量原理如图2所示。薄壁测量管外壁绕着两组兼作加热器和检测元件的绕组，组成惠斯登电桥，由恒流电源供给恒定热量，通过线圈绝缘层、管壁、流体边界层传导热量给管内流体。边界层内热的传递可以看作是热传导方式实现。在流量为零时，测量管上的温度分布如图2中虚线所示，相对于测量管中心的上下游是对称的，由线圈和电阻组成的电桥处于平衡状态，2个传感器测量的温度相同;当流体流动时，流体将上游的部分热量带给下游，导致温度分布变化如图2中实线所示，由电桥测出两组线圈电阻值的变化，求得两组线圈平均温度差ΔT，便求出气体的质量流量。由此可知气体质量流量qm的计算公式为:

 

式中:K3为分流系数，即流经毛细管的气体流量占总的气体流量之比。

由此可知，影响热分布式气体质量流量计测量的主要参数有:1)电路元件自身参数，包括电阻、发热功率等;2)分流系数;3)被测气体热容;4)测量管与环境换热系数。

本文来自：热式流量计