常用的气体质量流量计

常用的气体质量流量计，以手动调节的方式改变模拟电位器的分压，从而设置气体流量大小；毛细管传感器的电压信号，经过比例放大电路，输出0~5V的电压反映实际流量大小。该类型的气体质量流量计，一般还具有模拟信号接口，通过控制器给定0~5V的电压信号（或4~20mA）来设置流量；通过读取0~5V（或4~20mA）的输出信号，反映当前的流量状况[2]。如果要用计算机对其进行程序控制，必须外加DA/AD转换模块，将模拟信号与数字信号相互转化，才能接入计算机控制系统，构成一个控制网络。

    而数字化气体质量流量计，含有微处理器，在内部集成有（DA+AD）转换模块，具有RS232接口或RS485通讯接口，对流量的设置和流量的检测，以数字化形式通过RS232接口或RS485接口完成，因此计算机等控制器对数字化接口，还可以对气体质量流量计进行更加广泛的功能设置。

 

图1 模拟接口的质量流量计组网示意图

 

图2 数字接口的质量流量计组网示意图

    RS-485标准允许在平衡电缆上连接多至32个发送器/接收器，特别适合工业控制领域进行分布管理、联网检测控制，得到广泛应用。因此具有RS485接口的质量数字化质量流量计的控制相对更为方便可靠。另外，通过流量计对应用系统来说更为方便可靠。下面以BrooksSLA7850S数字化气体质量流量为例，介绍有关通讯协议的格式以及流量计在材料生长中的使用。

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